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GRYLLS 6600 差壓式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品PDF資料

發(fā)布時(shí)間:2022/6/28      點(diǎn)擊次數(shù):1948

Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器 參數(shù)0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時(shí)漂,長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年,準(zhǔn)確度1.0%,量程可在100:1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定,無需標(biāo)定,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。

Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以,即使測量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會影響測量精度。


標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)(有關(guān)選配項(xiàng),請聯(lián)系Grylls)

產(chǎn)品性能參數(shù)

Grylls6600系列差壓式質(zhì)量流量控制器

精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)

± 1%Full Scale

傳感器響應(yīng)時(shí)間

<1 ms

重復(fù)性

± 0.2%Full Scale

零點(diǎn)漂移和滿量程漂移

0.2%Full Scale /   oCelsius / Atm

工作范圍和量程比

2% to 100% Full   Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可控流量

100% Full Scale

最大可測流量

100% Full Scale

典型響應(yīng)時(shí)間

<100 ms

壓力精度(大于1大氣壓時(shí))

±0.6% of reading

壓力精度(小于1大氣壓時(shí))

±0.1 PSIA

溫度精度

±0.75°C








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