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微機電質量流量計的主要特點、優勢和應用場景

更新時間:2025-05-08      點擊次數:258
  微機電質量流量計是一種基于微機電系統(MEMS)技術的新型流量測量儀表,具有顯著的技術特點和優勢。其主要特點包括高精度、寬量程比、抗干擾能力強、壓損小等。通過CMOS半導體工藝制成的微米級傳感器,結合熱擴散原理,該流量計能夠直接測量氣體質量流量,無需額外壓力或溫度補償,精度可達±0.15%,量程比超過100:1,適用于復雜工況下的穩定測量。
  其核心優勢體現在三方面:一是測量可靠性高,傳感器內部無活動部件,避免了機械磨損導致的精度衰減,使用壽命顯著延長;二是響應速度快,采用數字化自適應信號處理技術,可實時捕捉微小流量變化,滿足動態工況需求;三是安裝維護便捷,模塊化設計支持法蘭、NPT等多種接口,支持RS485、4-20mA等數字/模擬信號輸出,兼容工業物聯網系統。
  該流量計的應用場景覆蓋多領域:在醫療領域,用于醫用氣體(氧氣、氮氣)的精準計量,保障呼吸機、麻醉機等設備的穩定供氣;在半導體制造中,監測擴散、氧化等工藝的氣體流量,確保晶圓加工的工藝一致性;在石油化工領域,針對天然氣、液化氣等易燃易爆介質,實現高精度貿易計量和過程控制;在實驗室環境中,為毛細管氣相色譜儀、光纖熔煉設備提供微小流量測量支持。其防爆認證(ExiaⅡCT4)和IP65防護等級進一步拓展了在危險環境下的應用范圍。
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